微机电系统显示器()
这是一种采用微机电系统技术制造的微型显示器。在这种显示器中, 微型的机械结构是采用标准的半导体工艺加工半导体和其它材料而制造出来的。在数字微镜器件中,其结构是一种由铰链支持的微镜。其铰链由连接到下面的一个存储单元的极板上的电荷所激励。每一微镜的尺寸大约为人头发的直径。该器件主要用于便携式商用投影机和家庭影院投影机。